洁净室人员的防护

洁净室是由板材组合拼接而成的密闭空间，材料单元间的拼接缝隙会对洁净室的洁净度产生重要影响。良好的密闭性可以保护停机状态下洁净室免受室外大气中悬浮微粒的渗透污染，环境中0.1 ~ 1.0 μm 的悬浮微粒具有典型的布朗运动，布朗运动会导致悬浮微粒从密度大的环境向密度小的环境发生宏观扩散 。图 2 a 中的房门未安装密封条，无密封性，图 2 b 房门上的密封条为密封无效状态，当通风系统处于停机时室外大气中的悬浮微粒会通过缝隙渗透到洁净室内，微粒的扩散效应与缝隙的截面成正相关，附着或沉积在洁净室中的微粒会破坏洁净室的洁净度。

人员在洁净室内出入频繁、活动量大，人体的新陈代谢会分泌污染物，生活着装也会释放污染物，所以人员是洁净室内的主要污染源。控制人员在洁净室内减少微粒污染的最佳措施是穿着洁净服，用洁净服将体表、生活着装包裹，洁净服的布料对人员身体释放出的微粒具有阻隔性，因此可实现对人体污染源的净化。由于人员对洁净室的影响较大，所以洁净服的作用尤为重要，性能良好的洁净服应确保材料不产尘，具备良好的阻尘性、防静电性和耐磨性。人员的发尘量与作业的动作、洁净服的材料、洁净服的形式等有关，发尘量见表 2 。